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stage hardware error是什么毛病？

小M

2012/05/21

扫描电镜（SEM/EDS）

话不多说，直接上图

用户手册没查到

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benzhx

第1楼2012/05/22

Stage是指样品台，台子的硬件故障，开机自检时的三个绿灯都亮吗？打电话给FEI咨询吧

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zhadaoan

第2楼2012/05/22

不会是驱动电机出问题了吧？
小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:话不多说，直接上图

用户手册没查到

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小M

第3楼2012/05/22

应助达人

装好样品抽真空的时候出现的提示信息，开机时是正常的，而且机子是长开的。
benzhx(benzhx) 发表:Stage是指样品台，台子的硬件故障，开机自检时的三个绿灯都亮吗？打电话给FEI咨询吧

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小M

第4楼2012/05/22

应助达人

出现提示之后，home stage都做不了，然后机械调整了一下XYZ，再home stage就可以了。
zhadaoan(zhadaoan) 发表:不会是驱动电机出问题了吧？

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asahi42

第5楼2012/05/22

传说中的软故障~关UI，关电脑，Stand by~三部曲~
小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:出现提示之后，home stage都做不了，然后机械调整了一下XYZ，再home stage就可以了。

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zhadaoan

第6楼2012/05/22

机械调整？里面齿轮错位了，搞不清，瞎猜的，工程师怎么说的？求正解~
小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:出现提示之后，home stage都做不了，然后机械调整了一下XYZ，再home stage就可以了。

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小M

第7楼2012/05/22

应助达人

stand by是待机吗？我的处理真没这么复杂
asahi42(asahi42) 发表:传说中的软故障~关UI，关电脑，Stand by~三部曲~

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小M

第8楼2012/05/22

应助达人

机械调整就是在仪器上手动调，平时一般用软件控制调整。你楼上这位就是工程师，正解
zhadaoan(zhadaoan) 发表:机械调整？里面齿轮错位了，搞不清，瞎猜的，工程师怎么说的？求正解~

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zhadaoan

第9楼2012/05/24

asahi 同志是FEI的工程师？
asahi42(asahi42) 发表:传说中的软故障~关UI，关电脑，Stand by~三部曲~

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asahi42

第10楼2012/05/24

呵呵~对FEI的机子有啥操作上的问题，我们可以一起讨论着解决~
zhadaoan(zhadaoan) 发表:asahi 同志是FEI的工程师？

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