perpetualcat68
第2楼2012/07/15
L 用的是line-detector, K用的是edge-detector. 处理的是低频区.
样品本身很多层面之间已没有明显的边缘特征. 通常的gradient
方法也会大致反映那些细节.
先从低频区看看, 逐步扩展. 最后和inflection point 的方法比教.
第二种方法直接对原像处理, 相对合理和精确. 缺点是太慢. 对每
个层面都要有相应的参数调整, 在特殊点也会卡住.
这些点暂时也在fft 的低频区近似处理. 1nm的层面是很麻烦.
5nm以上的还没遇到这些困惑, 即使对defect.
perpetualcat68
第4楼2012/07/20
一些文献认为,低频区可以去除以降噪,并且不影响测量诸如厚度等。
俺系统地比较过他们的方法,关键在于他们用的是近似边缘,而且强度平均后测的是平均厚度。
实际上按他们的方法,就测低频区,厚度在0.1nm精度上根本一致。
俺老师以前的方法过多考虑了样品厚度的波动,但有文献展示了600nm范围里,
通过HAADF测薄层厚度时,样品厚度波动都没影响。俺试过能用的各种filter,
也没影响。后来这类方法被俺认为是有较大缺陷的,一切要以模拟来验证。
inflection point 在各种情况下的误差可以用模拟来得出,filter 的影响也一样。