5973用高效涡轮分子泵时其高真空度正常值是多少？

我知道5975C的在5.6Xe-5都可以正常使用，5973的没用过，估计应该可以吧

应助达人

我的5975C是3.48E-6和6.45E-6。

真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

请问柱子的规格是多少？柱流量是多少？当时的柱温是多少？1.8Xe-5使用应该无什么问题。

柱流量1.0ml/min，柱子：30X0.25X0.25, 柱温是50度，高温时真空度也差不多这个数。

应助达人

1.8Xe-5应该差不多，只要氧氮比例低就行。但我一般是真空度越来越低。

我们这台是2004年的产品，02年买的，因一直问题不断，最后强烈要求下在04年MS部分换了一台新的，之后就没问题了。

应助达人

请问调谐和测试样品正常吗？

应助达人

1.8Xe-5使用应该无什么问题。
A的大泵10 的-6次方应该是没问题的
但是小泵的话。最多也就只能10-5次方。

应助达人

5975的真空度参考：

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！