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同位素及其它无机质谱
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二次离子质谱分析技术及其应用1
sisigh
2012/07/24
私聊
同位素及其它无机质谱
1 二次离子质谱学发展简史... 4
2 SIMS的原理和仪器结构... 5
2.1 原理... 5
2.2 质谱分析器(质谱计) 6
2.2.1 磁质谱计... 7
2.2.2 四极质谱计... 7
2.2.3 飞行时间质谱计... 8
2.2.4 其他质量分析器... 10
2.3 SIMS仪器类型... 10
3 SIMS与其它表面分析技术的比较... 11
3.1 SIMS的主要优缺点... 11
3.2 与其它微分析技术比较... 13
4 SIMS的研究和应用... 14
4.1 元素及同位素分析... 14
4.2 颗粒物微分析研究... 16
4.3 团簇、聚合物分析及生物医学等方面的研究... 17
4.4 SIMS在化合物半导体材料分析中的应用... 19
4.4.1 常规分析... 20
4.4.2 最低测量极限... 21
4.4.3 高分辨率SIMS分析... 23
4.4.4 解剖分析... 24
5 SIMS的新进展... 25
6 几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术... 26
6.1 NANO SIMS 50型二次离子质谱仪... 28
6.1.1 小束斑离子枪和短工作距离的二次离子接收透镜的新设计... 28
6.1.2 二次离子接受器由单种离子接收改为多种离子同时接收... 29
6.2 IMS WF和IMS SCULTRA型SIMS. 29
6.2.1 在线就地溅射坑深测量系统的引入... 29
6.2.2 能用于超浅深度和超薄薄层检测的离子枪... 31
6.2.3 同心旋转样品台... 32
6.2.4 可装戴300mm×300mm薄片样品进样系统... 33
6.3 TOF SIMS IV型SIMS. 33
6.3.1 样品冷却-加热装置... 33
6.3.2 能平行检测所有同位素的丰度比... 34
6.3.3 超浅深度和超薄薄层检测离子枪和300×300mm薄片样品进样系统... 34
7 结束语... 34
参考文献 35
附件:
二次离子质谱综述1.pdf
分
该帖子已被
版主-无机麦地
加4积分,加2经验;加分理由:感谢楼主提供的资料
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私聊
无机麦地
第1楼
2012/07/29
楼主从事SIMS相关的工作么?
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