其他仪器综合讨论
第1楼2003/04/11
请看下面的专著:二次离子质谱与离子探针 作者:季桐鼎等编著. 出版社:北京:科学出版社 总页数:184页.
第2楼2003/04/13
If you are interested in the product, you may contact Mr. Zheng for SIMS, he will provide Hiden"s SIMS.Tel:010-64447150/7151Email:zheng@rakon.com.cn
第3楼2009/07/06
SIMS,二次离子质谱利用一次离子束轰击样品,激发出二次离子,收集并进行质谱分析主要应用在高纯材料中的杂质分析,半导体掺杂,扩散,离子注入的分析检测对一些薄膜,沉积样品,做浓度 vs 深度的分析可以做元素氢的分析,和小区域分析
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