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EBSD 衍射花样的形成

sept

2012/07/27

扫描电镜（SEM/EDS）

衍射花样的形成

在EBSD测试中，扫描电子显微镜（SEM）电子束入射到倾斜70°度的晶体样品表面。（图 2）

EBSD衍射花样获得的基本原理非常复杂，这里简要介绍了它的一些主要的工作原理。入射电子束与样品表面原子碰撞发生弹性散射，伴随着一小部分能量损失，从而形成了一个电子发散源。而其中一些电子于原子面入射角度满足布拉格方程

（公式1）

其中，n是整数，λ是电子波长，d是衍射面间距，θ是电子入射方向与衍射面之间的夹角。这些电子发生衍射形成了与每一个衍射面相对应的一系列成对出现的大角度锥面。在荧光屏上进行成像时，这些经过信号放大的锥面间电子强度区域形成了电子背散射衍射花样—菊池带花样（Kikuchi band）。

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sept

第1楼2012/07/27

0

小M

第2楼2012/07/31

应助达人

有点眼熟，是不是EBSD那个网站上的内容？

0

sept

第3楼2012/08/04

是的，直接copy的www.ebsd.cn
如果需要更多了解EBSD，也可查看本教育网

0

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