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mxchen1215

2012/08/13

文献检索－互助

【序号】：1
【作者】：MATSUYAMA TOMOYUKI (Nikon Kaihatsuhombu)
【题名】：The newest lithography-focusing on immersion lithography. Polalized-light illumination and ultra-high NA imaging
【期刊】：J-EAST
【年、卷、期、起止页码】： VOL.;NO.308;PAGE.768-772(2005)
【链接】：http://sciencelinks.jp/j-east/article/200517/000020051705A0604126.php

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