请大家帮忙看下这张图？

不太好判断有什么缺陷存在，通过FFT处理，晶体存在应力应变或是晶格的错位，如果要是缺陷的话，在低倍的衍衬像应该是能显示出来的，单独拿高分辨来说存在何种缺陷，有点牵强

还有一张高分辨，可以对比着看，


低倍像


专门的弱束像没有拍，当时没有重点拍这个，很后悔，现在不好补了。

又补了两张图，能否凭您的经验大致判断一下，谢谢。

洪星二锅头(coime) 发表:不太好判断有什么缺陷存在，通过FFT处理，晶体存在应力应变或是晶格的错位，如果要是缺陷的话，在低倍的衍衬像应该是能显示出来的，单独拿高分辨来说存在何种缺陷，有点牵强

是什么样品

从IFFT处理后，我觉得有可能是刃型位错或者位错环（位于垂直表面的平面上，所只看到其中的一段）之类，造成中间晶格的畸变，不过光是这么判断，很难把握正确性

GaN外延薄膜，GaN缓冲层与外延层的界面区域，我也觉得像是位错环，要想判断准确需要怎么做？

如果能再上电镜的话，尽量做几个弱束，通过不同g矢量操作的不消光原理来判断

GaN外延薄膜，好像位错主要是刃型位错，少量的混合位错和螺位错