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beam shape 问题, 急!!!

  • mavericben
    2006/05/19
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 我们的TEM最近修了一次,修好了发现beam的形状有问题
    本来jeol1230的光斑形状在spot size 1,2(强光)的时候就不太圆,但现在在光斑最小时候
    竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状,太过分了,变化c2,加大光斑面积,形状又变成葫芦状(两个大小不一样的光斑连在一起),光斑再调大些的时候又变圆了。
    如果用小的spot size,4,5。 光斑形状还比较圆。
    调教cl STG,没有明显帮助。gun titlt,shift,没有明显帮助,火急求助!!!
    多谢1!!(所有aperature都没有加入光路)
    是什么参数出了问题?灯丝没有换过。
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  • phoenix-sun

    第1楼2006/05/19

    这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
    不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

    先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
    C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.

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  • mavericben

    第2楼2006/05/19

    我说的是 CL(condense lense)不是c1。光斑形状太变形,已经远远超越了C2 象差的调节范围,
    在spot size 3下面,勉强可以调节到圆形,在spotsize 1。 2。 下面,光斑是月牙形,不是椭圆形。就是比镰刀还细的那种月牙。怎么调象差都不行。我怀疑有更基本的问题。

    phoenix-sun 发表:这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
    不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

    先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
    C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.

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  • mavericben

    第3楼2006/05/23

    没有人碰到类似问题么?spot size 变化影响 光斑变化,是不是condens lens 出了问题?

    mavericben 发表:我们的TEM最近修了一次,修好了发现beam的形状有问题
    本来jeol1230的光斑形状在spot size 1,2(强光)的时候就不太圆,但现在在光斑最小时候
    竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状,太过分了,变化c2,加大光斑面积,形状又变成葫芦状(两个大小不一样的光斑连在一起),光斑再调大些的时候又变圆了。
    如果用小的spot size,4,5。 光斑形状还比较圆。
    调教cl STG,没有明显帮助。gun titlt,shift,没有明显帮助,火急求助!!!
    多谢1!!(所有aperature都没有加入光路)
    是什么参数出了问题?灯丝没有换过。

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  • 天黑请闭眼

    第4楼2006/05/23

    是不是alpha角改了?

    mavericben 发表:没有人碰到类似问题么?spot size 变化影响 光斑变化,是不是condens lens 出了问题?

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  • 怪味陈皮

    第5楼2006/05/23

    是不是光路里有东西?

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  • mavericben

    第6楼2006/05/24

    shxie 发表:是不是alpha角改了?

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  • mavericben

    第7楼2006/05/24

    如果光路里面有冬冬,spotsize小得时候光斑应该也不正常把


    ustb 发表:是不是光路里有东西?

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  • 怪味陈皮

    第8楼2006/05/24

    还能调出灯丝像吗?什么形状?

    mavericben 发表:如果光路里面有冬冬,spotsize小得时候光斑应该也不正常把

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  • mavericben

    第9楼2006/05/25

    ustb 发表:还能调出灯丝像吗?什么形状?

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  • 天黑请闭眼

    第10楼2006/05/25

    哦,难道是灯丝歪了?

    mavericben 发表:试着减小HT,没看到灯丝象

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