三轴分离扫描器得到的数据,只需校准样品放置的水平度就可以了,不用XYZ三个方向都进行校准。压电陶瓷管扫描器就必须要XYZ三个方向进行校准,是由于其扫描过程中产生球面效应。。。
romantic25(romantic25) 发表:所有的AFM都需要进行XYZ三个尺寸的标定与校准的,如果不做,测试的数据有可能不准确,甚至导致误差很大。传统的压电陶瓷扫描器因为有老化的问题,需要标定的稍微频繁点,其他的各类扫描器也需要定期标定才好。
就算不标定,定期采用光栅与台阶高度标样验证XYZ三个方向的准确性还是很重要的,否则测试的数据有不可信的可能性。
除了XYZ三个方向的准确度的标定以外,还要对使用的机器确认是否需要进行非线性的标定。