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关于屏蔽圈和石英环

yanyan_so

2013/05/24

各位老师好：

我想请教一下，屏蔽圈和石英环更多应用于冷等离子体，还是正常的等离子体呢？

目前知道的是非平衡射频驱动的仪器在使用冷等离子体时,常采用一种屏蔽装置来降低等离子体的电位。屏蔽装置的主要部件是一个不闭合的金属屏蔽圈(中间开裂)。屏蔽圈被置于射频线圈与等离子体炬管之间。当屏蔽圈被接地时,可以避免射频线圈与等离子体炬之间产生的藕合电容,降低等离子体的电位,阻止二次放电。拥有冷等离子体屏蔽装置的仪器常常可以完成冷等离子体与正常热等离子体工作模式之间的切换。

想请各位老师支援一些其他的相关内容，因为要做课件，比较急用，小女子感激不尽。

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阶前尘

第1楼2013/05/25

应助达人

屏蔽圈主要是减少二次放电的，所以都是电的导体，石英环明显不是这个作用，它应该是起到固定和保护屏蔽圈的作用的。

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yanyan_so

第2楼2013/05/25

原来石英环就是个保护作用啊，

谢谢哦。O(∩_∩)O~
阶前尘(jieqian1211) 发表:屏蔽圈主要是减少二次放电的，所以都是电的导体，石英环明显不是这个作用，它应该是起到固定和保护屏蔽圈的作用的。

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