光哥
第1楼2013/06/14
Method Step (wait time) | Step 1 5 sec | Step 2 45 sec | Step 3 30 sec | |
Parameters | unit | Cool | H2 | He |
PF Power | W | 600 | 1500 | 1500 |
Sampling Depth | mm | 22 | 8 | 8 |
Carrier Gas | L/min | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
Makeup Gas | L/min | 0.74 | 0.34 | 0.34 |
20%O2/80%Ar Gas | %FS | 25 | 25 | |
Extract 1 | V | -120 | 5.5 | 5.5 |
Extract 2 | V | -5 | -100 | -100 |
Omega Bias | V | -30 | -30 | -30 |
Omega Lens | V | 3 | 8 | 8 |
Cell Entrance | V | -50 | -50 | -50 |
QP Focus | V | -5 | -10 | -10 |
Cell Exit | V | -60 | -60 | -60 |
Octopole Bias | V | -20 | -20 | -20 |
QP Bias | V | -5 | -17 | -17 |
ORS H2 Gas | mL/min | 0 | 6 | 0 |
ORS He Gas | mL/min | 0 | 0 | 5 |
ORS NH3 /He Gas | %FS L/min | 0 | 0 | 0 |
Na23, Mg24,Al27 | B11, Mn55 | Ti48. Ti49, V51, | ||
K39, Ca40, Po47 | Ge74 | Co59, Ni60, Cu63 | ||
Fe56 | Zn64, Zr90, Nb93 | |||
Mo98, Ta181, W182 | ||||
Au197, Pb208, U238 |
timstoicpms
第2楼2013/06/14
很高兴看你当版主!你是半导体行业出身,版上绝大部分测试对象是农作物/食品、药品/化妆品、土壤/岩石等。你会发现做这行的人很懒,用He模式独挡天下。超过80%的人不知道可以在方法编辑中设置多个测试模式:一次进样,不同元素在不同模式下测试
Step 1,某些元素用 Cool Plasma;
Step 2,某些元素用 No gas;
Step 3,某些元素用 He;
Step 4,某些元素用 H2。
我这不是偷个懒,让 Li 搭上 Na Al K 冷焰的顺风车么?省得搞2个模式,Cool与NG之间切换还要等上几秒稳定时间。
光哥
第4楼2013/06/16
A家的机器极少用CH4和NH3的强反应气体的(8800倒是有),就以前看过的知识,当使用CH4和NH3时,副反应比较多且难以控制,因此PE用四级杆反应池来做一个“质量窗口”——允许这个质量窗口内的离子通过DRC进入主四级杆,也就是质量甄别的功能。而六级干和八级杆就没有“质量甄别”的功能,因此极少用这类强反应气。但是据说四级杆反应池对离子聚焦相对较差,所以碰撞模式用得就比较少了。
这个可以参考PE的宣传资料,DRC作为卖点,原理讲解得蛮详细的。
老实说我也是照着记忆抄的,至于DRC为何有质量甄别功能而六级杆和八级杆没有,那个质量稳定区图我始终没弄明白。求大神讲解下