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EDS测量元素含量时，是根据峰面积大小积分得到的吗

XPS及其它能谱仪

  • 我做扫描电子显微镜时，有用EDS测量元素磷的含量。由于样品制样时要喷金。而金峰与磷是重叠的。所以一般都说应该喷石墨。

    我想知道喷金对我们测量有没有影响？元素含量是怎么算的？

    谢谢。
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    +关注 私聊

  • shuzheng

    第1楼2006/07/24

    肯定有影响呀,喷金的厚度一般是20nm左右,而X射线打入深度也就是20nm左右,所以测试出来的估计大部分都是金.元素含量是峰面积积分归一计算出来的.

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    +关注 私聊

  • hanks1968

    第2楼2006/07/25

    谢谢这位小姐的解答。不过今天我去做扫描电镜时，管理的老师说不同元素的峰响应因子不一样所以不会产生影响。也不知道是真的还是假的？

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