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求助关于薄膜xps成分定量的问题

XPS及其它能谱仪

  • 各位老师好,请问下样品是在Cu基体上沉积的Ge,结果部分Ge与Cu形成了Cu3Ge合金,想确定下合金中的Ge和单质Ge的含量比例,这种情况下能够用xps测试得出合金中的Ge与单质Ge的含量比吗?谢谢各位了。
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  • opfilm2010

    第1楼2011/08/29

    要看部分Ge与Cu形成了Cu3Ge合金的含量及位置,还要查一下峰位移动是否明显

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  • feixiong5134

    第2楼2011/08/31

    看你沉积了多厚,如果沉积的薄的话,应该可以看到相互作用

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