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ICP-MS应用求助

  • zhengji2008ok
    2013/12/09
    • 私聊

ICP-MS

  • 求助各位大神，现在我们实验室装了一台ICP-MS，领导让用ICP-MS分析硅矿石、工业硅、多晶硅中的P、B和其他金属元素，小弟刚接触ICP-MS不久，请问各位大神ICP-MS能做这么全面的分析吗，样品前处理怎么做啊？求指点，不胜感激！
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  • 光哥

    第1楼2013/12/10

    应助工程师

    UMG的话是可以的。

    改良西门子法的P/B就无望了，并且SEMI中关于改良西门子法的P/B分析标准也不是使用ICP-MS的。

    PS：单四极杆的分析硅基体中的Ti元素，能满足实际样品的需求，难度真非常大

0
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  • sonne86400

    第2楼2013/12/10

    抓紧找厂家售后帮你实地的解决问题

0
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  • zhengji2008ok

    第3楼2013/12/10

    我们是物理法生产多晶硅，前期只给配备了一台ICP-MS，让分析硅矿石、冶金硅、多晶硅的P、B

    光哥帮忙指点一下样品前处理方法吧

    光哥(xsh1234567) 发表:UMG的话是可以的。

    改良西门子法的P/B就无望了，并且SEMI中关于改良西门子法的P/B分析标准也不是使用ICP-MS的。

    PS：单四极杆的分析硅基体中的Ti元素，能满足实际样品的需求，难度真非常大

0
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  • ZhangYang

    第4楼2013/12/28

    Ti的分析用氨气！

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