timstoicpms
第1楼2014/04/07
我的感觉是:反射功率过高,RF Matching 数值不对。
点火稳定3-4分钟后(进样管插在稀硝酸中即可,不需要插在调谐液),如果反馈功率(又称反射功率)大于5W,在炬管图标鼠标右键“自动RF 匹配”,反馈功率应该能低于5W。
假设启动界面 RF Matching 最佳数值是1.80(上图自动RF匹配会调出,但是要进“全部仪表”界面才能看到这个数值)与测试界面的 RF Matching 数值(下图 1.55)两者偏离很大。转至测试状态时,就会熄火。换句话说,这两个RF Matching 数值应该相互贴近。
如果还不行,那你就拨打安捷伦客服 800-820-3278 咨询。
N/C
第2楼2014/04/08
除此之外,还发现待机下,等离子体流量1L/min左右(并未设置气体流量)。这个是什么情况呢?