如何改变扫描电镜的束流和束斑

fengyonghe 2014/05/15

这要看测试的样品，稳定不积电的样品cps1500以上就可以测试，死时间控制在40%左右。不稳定样品，越不稳定，束斑越要加大，争取短时间测完。死时间不大于60%也能测试。不导电样品要做导电处理。

cvbs11 2014/05/16

要具体看你的设备是哪个品牌哪个型号的，各种机器改参数的方法也不一样的

小M 2014/05/15

改spotsize就行了