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扫描电镜 column chamber valve 经常报错，是哪出问题了？

zhaokaino1

2014/06/24

扫描电镜（SEM/EDS）

简单介绍一下情况：

电镜为Zeiss supra 55；最近一段时间，我们电镜在真空值达到要求后经常加不上高压，即点击EHT选项，只有Vent没有EHT On。观察发现是 column chamber valve 显示的是error，而抽好真空后的正常状态应该是column chamber valve显示Open；我们只能重新把真空卸掉，再抽一次，就可以显示正常，可以加高压。有时候真空度达到要求时，column chamber valve一开始显示的是Open，随后听到一声放气的声音，column chamber valve立马显示error。有时不注意，以为真空抽好了，就把设备关掉了，第二天开机就发现电子枪的真空度很低，样品仓的真空正常，但电流很弱，所以只能再泄气花很长时间把电子枪真空抽上来，这样电流才能升上来。这样下去，对设备也不好，还影响实验，所以求助各位有经验的老师，知不知道这是什么地方出了问题，感谢！

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czjs

第1楼2014/06/26

找售后解决啊

0

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