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【求助】扫描电镜在集成电路及半导体方面的应用？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 大家交流一下扫描电镜在集成电路和半导体分析方面应用经验好吗，电镜选型时要注意些什么？需要用一般的钨灯丝电镜还是要用到场发射电镜（冷场好还是热场好），需要用什么检测器？谢谢回复！
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  • zhp5238

    第1楼2006/09/23

    后道用W就好,前道要看工艺,一般都用FEG的,相对于半导体工艺来说,偶觉得还是热场好一点,一般加上EDX就OK了,少数会用CL和EBIC,现在还有人在CHAMBER里加PROBE测I-V CURVE

    yjh020 发表:大家交流一下扫描电镜在集成电路和半导体分析方面应用经验好吗，电镜选型时要注意些什么？需要用一般的钨灯丝电镜还是要用到场发射电镜（冷场好还是热场好），需要用什么检测器？谢谢回复！

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  • 六脉神剑

    第2楼2006/09/23

    工厂里是不是不常用SEM啊，我知道FIB（focus ion beam）是常用的。

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  • 共工

    第3楼2006/10/07

    FIB是离子筒，是附加在使用电子筒的电镜上的，直接利用离子束的离子镜现在全球只有一家能做。
    还有FIB是 FOCUSED ION BEAM，不是FOCUS ION BEAM。

    quanbaogang 发表:工厂里是不是不常用SEM啊，我知道FIB（focus ion beam）是常用的。

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  • miumiu

    第4楼2006/10/09

    不是吧，我就知道两家做

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