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X射线光电子能谱仪(XPS)
俄歇电子能谱仪(AES)
X射线光电子能谱利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。XPS和AES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析,测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。
测试范围与服务项目:各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析等。
y461008341(y461008341) 发表:是不是XPS