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请问等离子刻蚀的表面用SEM放大多少倍可以看到刻蚀情况啊?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 目前我做的两万倍好像看不清楚刻蚀作用。
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  • houzhl

    第1楼2006/09/27

    我发的图片怎么看不到啊 ?????

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  • houzhl

    第2楼2006/09/27

    斑竹指导一下啊 。

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  • 六脉神剑

    第4楼2006/09/27

    不知道楼主所说的刻蚀是否用了掩模,没有淹没的话很难看出刻蚀情况,除非被刻蚀物是成分不均一的物质。

    欢迎到我的资料库下载

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  • houzhl

    第5楼2006/09/28

    哦,淹没?原来是这样啊.我应该怎么样处理后再做一次SEM才能看清楚呢?

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  • houzhl

    第6楼2006/09/28

    都是阴影.看不到明显的刻腐蚀.这个是20000倍的

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  • houzhl

    第7楼2006/09/28

    我又在附件上传了一次.怎么还是看不到啊..

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