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求文獻5篇

hanc1202

2015/09/04

文献检索－互助

【序号】：1
【作者】：刘萌
【题名】：阴极电弧蒸发源放电机理的研究
【期刊】：东北大学
【年、卷、期、起止页码】： 2012
【全文链接】：http://cnki.hilib.com/KCMS/detail/detail.aspx?filename=1015556882.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2015
【序号】：2
【作者】：赵金艳
【题名】：等离子体增强溅射技术中辅助阳极性能研究
【期刊】：东北大学
【年、卷、期、起止页码】： 2012
【全文链接】：http://cnki.hilib.com/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&QueryID=13&CurRec=5&dbname=CMFDLAST2015&filename=1015556899.nh

【序号】：3
【作者】：黄英；李建军；张以忱；李傲；
【题名】：直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化
【期刊】：真空科学与技术学报
【年、卷、期、起止页码】： 2014 (11)
【全文链接】：http://cnki.hilib.com/KCMS/detail/detail.aspx?filename=ZKKX201411014&dbcode=CJFD&dbname=CJFD2014

【序号】：4
【作者】：刘佳明
【题名】：考夫曼离子源等离子体模拟与结构改进
【期刊】：东北大学
【年、卷、期、起止页码】： 2012
【全文链接】：http://cnki.hilib.com/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&QueryID=13&CurRec=1&dbname=CMFDLAST2015&filename=1015552444.nh

【序号】：5
【作者】：张以忱；张国庆；赵金艳；
【题名】：等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化
【期刊】：2013年真空工程学术会议
【年、卷、期、起止页码】： 2013
【全文链接】：http://wx.xast.cn/KCMS/detail/detailall.aspx?filename=zgzu201309001041&dbcode=IPFD&dbname=IPFD2013

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