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求助大神！昨日S-3400N突然无法抽真空

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 求助大神！昨日S-3400N突然无法抽真空。
    故障现象 ：1、出现EVAC和AIR同时双闪 2、电脑显示故障“the error of TMP vacuum pump was detected" 3 、报警声长鸣
    现在机械泵似乎不像之前每逢按EVAC的就有很大声的抽气现象。今日已把机械泵机油换了；样品仓的密封圈也清洗并涂了点油；能谱仪也取出（排除能谱探头窗口破损），请教大神们有遇到过此问题或者有无些建议？谢谢！
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  • 小M

    第1楼2015/11/09

    应助达人

    TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
    如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？

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  • kawagoe

    第2楼2015/11/09

    建议尽快联系厂家

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  • hongdesky

    第3楼2015/11/09

    机械泵能通电，但感觉机械泵没收到指令一样，没工作

    小M(mitchell_dyzy) 发表:TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
    如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？

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  • hongdesky

    第4楼2015/11/09

    已联系厂家

    kawagoe(kawagoe) 发表:建议尽快联系厂家

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  • hongdesky

    第5楼2015/11/10

    今天厂家过来维修，无需更换配件，只对分子泵放了气，重新开机就恢复正常了

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  • hongdesky

    第6楼2015/11/16

    设备现在又出同样问题，其实前几天就出了问题，只是断断续续可以用，今天SEM每次放气时都报警分子泵问题

    hongdesky(hongdesky)发表:今天厂家过来维修，无需更换配件，只对分子泵放了气，重新开机就恢复正常了

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  • hongdesky

    第7楼2015/12/05

    更换一个阀门，问题解决了

    小M(mitchell_dyzy) 发表:TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
    如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？

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  • okdb

    第8楼2016/04/12

    样品仓的密封圈也清洗并涂了点油，什么油

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  • m3136732

    第9楼2016/08/25

    同样的设备用了十年出现了同样的问题。供应商也是先做了一下清洗，怀疑堵塞。设备运行了三天后再出现同样的放气死机状况。最后通过排查检修结果是阀门老化，更换。

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  • hongdesky

    第10楼2016/08/26

    我们也更换了阀门，问题解决了

    m3136732(m3136732) 发表:同样的设备用了十年出现了同样的问题。供应商也是先做了一下清洗，怀疑堵塞。设备运行了三天后再出现同样的放气死机状况。最后通过排查检修结果是阀门老化，更换。

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