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EDS能谱问题请教

  • thank_you_me
    2016/03/21
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 对于SEM能谱,轻元素不好检测,厂家也一般也不明确标示C、F的能量分辨率。不同晶区面积的仪器,有的F-Ka线标56eV、55eV,有的标54eV。这些差距大吗?这是什么原因导致的差距。
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  • fengyonghe

    第1楼2016/03/21


    单位是千电子伏特

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  • 驰奔

    第2楼2016/03/23

    楼主这个问题专业,
    差别不大,活区面积增大会导致分辨率下降。
    造成这种差异的是电噪音。越小的晶体电噪音越小。

    我看过的有关资料说当前SDD分辨率已经接近无噪音的极限快了。
    SDD EDS理论极限分辨率是120ev Mn Ka,最好的已经达到121ev. 1ev的差距,几乎可以无视了。

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  • fengyonghe

    第3楼2016/03/24

    回帖很专业,佩服

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  • wildonkey

    第4楼2016/04/23

    121ev分辨率 那是布鲁克的10平方毫米sdd XFlash? 6 | 10 limited edition, 真让人眼馋。C峰分辨率38ev F峰47ev,此时轻元素CNOF的K峰分的很开,背底特低,据说对定量化分析准确度提升明显。估计重元素的L M线也有很好效果。 可惜布鲁克的大面积sdd探测器分辨率逐步变差 30mm的Mn峰分辨率123ev 60mm的126ev 100mm的129ev。 60mm及以上,已经差于牛津的全部尺寸分辨率都是125ev, 遗憾。

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