EDS空间分辨率

TEM-EDS 一般用Mn来标定，看Mn峰的半宽高，一般都是在136eV左右，而场扫描电镜的能谱，大面积的话，一般在129eV左右

空间分辨率呢？据说有个electron flight simulator的软件可以计算，我没找到这个软件啊

楼主问的是透射电镜下空间分辨率的吗？

因为分辨率问题主要来自电子束在样品中的扩展范围，一般认为（我在书上看的）透射电子样品很薄（小于100纳米），电子束几乎没有扩展就穿透了，所以近似等于入射束斑直径喽！
实际上电子束有一点点展宽

杨南如主编 , 《无机非金属材料测试方法》 , 武汉工业大学出版社 , 1990年08月第1版 , 第173页

由(2—55)式可知，束流与束斑直径的8/3次方成正比。波谱仪的x射线利用率很低，不适于低束流(＜10—9A)下使用，分析时最小束班直径约200nm。能谱仪有较高的几何收集效率和高的量子效率，在束流低到l0-11A时仍能有足够的计数，分析时的最小束斑直径为5nm。但是对于块状试件(厚度大于几个微米)，元素分析的空间分辨率(分析的最小区域)主要决定于电子与试样的相互作用体积，而不是束斑大小，因此当束斑小于1微米时并不增加分析空间分辨率。例如对Ni-Cr基体中的直径为1微米半球状TaC颗粒，用加速电压分别为15和30kv、直径0.2μm的探针进行分折，从图2—97的蒙特-卡洛电子的弹道模拟图中可以看出，电子在试样中的散射和X射线产生的区域可接近或超过1μm。因此分析厚样品时，电子束斑大小不是影响空间分辨率的主要因素，波谱仪和能谱仪均能适用，但是对于薄膜样品，空间分辨率主决决定于束斑大小，它可等于或小于膜的厚度，在这种情况下，要求探测器有高的几何收集效率和量子效率，所以需使用能谱仪。