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chen04252003
第1楼2020/01/12
高的空间分辨率，与一次离子束的束斑密切相关！ 也叫lateral resolution。 目前一般都在亚微米量级。 最高40~50 nm。同一套仪器空间分辨率与灵敏度，质量分辨率都是个矛盾关系。 高空间分辨率意味着，低的一次离子束强度，而且短的脉冲时间。
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