奔跑的蜗牛
第2楼2007/09/10
我个人的感觉是这个问题不大好回答,因为对于扫描电子显微镜来说,有两个量是不容易确定的,其中一个就是束斑的大小,另一个就是探针电流的大小,只能在一定程度上做个估算,束斑的大小和SEM的型号,加速电压的大小,工作距离的远近,以及所使用的束流大小都是有关系的,所以目前的数据一般都是基于理论计算所确定的,一般来讲,多数SEM FEG的最小束斑应该在1至2.5nm之间,取决于镜筒设计和发射源等因素,这会影响到SEM的分辨率。很少有厂家肯于公布这件事的,所以楼主只能自己去想办法查相关的文献看怎么计算,然后用法拉第杯和皮安计测一下探针电流,作一个相应的估算了,当然最终的结果不会很准的,另个一个做法就是看分辨率能达到什么样,也可以间接推测一下分辨率了,当然我并不认为知道这个指标对SEM的使用有多大的用处。
要说关系的话,只能比较笼统地说一下,探针电流越大,束斑越大。