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【求助】请教：一般SEM能谱的束斑多大？

huang150429

2007/04/11

扫描电镜（SEM/EDS）

请教：我今天下午打算去场发射扫描电镜上看试样中的析出相（尺寸应该为几十纳米到几百个纳米），我问做SEM的老师，他和我说，利用场发射观察尺寸为几十纳米的析出物，肯定没有问题，但是能谱打不准确，因为能谱的束斑比这些析出物的大小要大！！我不明白的有以下几点：能谱的束斑一般多大？利用场发射SEM观察几十个纳米的析出物和利用TEM观察（萃取复型和薄膜试样）各有什么优缺点？今天我用场发射做的EBSD效果很好，呵呵。。。

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