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扫描电镜样品仓关不严 一直报警

  • Ins_81d662da
    2022/06/18
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 问题如下：

    扫描电镜，将样品送入以后，按close键关闭舱门，然后就一直报警，电镜下面显示E06，也不能按open打开，循环水也没问题。
    请问有人能帮忙解答一下吗？万分感谢！
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    +关注 私聊

  • 123

    第1楼2022/06/20

    应助达人

    可能气动阀内气管压力太小所致的

0
    +关注 私聊

  • Ins_81d662da

    第2楼2022/06/20


    感谢回答 问题找到了 是其中一根气管漏了 换了之后恢复正常了

    123(m3149125) 发表:可能气动阀内气管压力太小所致的

0
  • 分
  • 该帖子已被版主-UNM加5积分，加2经验;加分理由:应助成功
    +关注 私聊

  • zhengyihao

    第4楼2022/08/02

    漏气了，看看是哪个部位

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