热电icap Q ICPMS 点火后出现The pirani pressure is still greater than 2.3 mbar.熄火了，求助老师解析，这是什么问题啊？

应助达人

系统真空度不够。真空度达不到要求当然不能点火测试，仪器就自动关，看看两锥没上紧，石墨垫圈是不是坏了，换个截取锥，换个采样锥等

应助达人

仪器软件设置就是这样的，点火稳定后，Expansion Valve打开（会听到机械泵的声音明显不一样），The pirani pressure两分钟内降低到2.3mbar以下，Slide Valve打开，仪器进入Operate状态。没有降到2.3mbar以下，就会熄火。
检查一下锥的另一边有一个大的垫圈是否完好、锥与嵌片安装是否正确。不行的话换一套锥试试。

应助达人

这个不是系统真空，是锥后面接口处的真空。点火、稳定后才会开始抽这个接口处的真空。

明白了，谢谢老师。

换了套锥和石墨垫圈后还是会报错，听说好像可以通过调整软件的设置可以解决，请问老师是否知道？

如果换了锥和垫片依然报相同错误，可以试试检查下接口区到真空规之间的管路有无破损、漏气~

应助达人

在configure里是可以设置的。
不建议调整这个限值，2.3mbar这个值已经是比较高的了。我们的仪器刚安装时是可以达到1.8mbar的，热电工程师说有的还更低。这个位置的真空太差的话，会影响到灵敏度、增加涡轮分子泵的负担等等。