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扫描电镜图片问题

Ins_381bb991

2022/08/17

扫描电镜（SEM/EDS）

测量过程中电子束突然关闭，也没故障提醒，尝试再次开启后还是自动关，之后开启后就看不见样品了，请问是电子束出问题了吗

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wuyuzegang

第1楼2022/08/17

应助达人

1）先确定灯丝没有烧断
2）先把所有的光阑（聚光镜、物镜和选区）撤出来，看看有没有电子束。
3）不放样品把样品杆放进去,再看看
4）如果还没有调一下gun 平移和倾斜
5) 电镜应该都存储了一个状态，复位一下

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123

第2楼2022/08/17

应助达人

典型的是管座受潮变质,或是管座处的聚焦极对地漏电,使电子枪的聚焦极得不到合适的聚焦电压而使电子束散焦。除此以外,行输出变压器不良、管脚护套漏电、电子枪内部的极间漏电等原因，对照解决一下。

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Ins_381bb991

第3楼2022/08/18

好的谢谢了
123(m3149125) 发表:典型的是管座受潮变质,或是管座处的聚焦极对地漏电,使电子枪的聚焦极得不到合适的聚焦电压而使电子束散焦。除此以外,行输出变压器不良、管脚护套漏电、电子枪内部的极间漏电等原因，对照解决一下。

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Ins_381bb991

第4楼2022/08/18

谢谢指教了，我看看具体啥情况
wuyuzegang(dahua1981) 发表:1）先确定灯丝没有烧断2）先把所有的光阑（聚光镜、物镜和选区）撤出来，看看有没有电子束。3）不放样品把样品杆放进去,再看看4）如果还没有调一下gun 平移和倾斜5) 电镜应该都存储了一个状态，复位一下

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Ins_381bb991

第5楼2022/08/18

t1探头灯丝看不见了??，我想知道有啥原因会造成这种情况吗，平时理论了解的不多，只知道测了一下石墨然后突然就这样了
Ins_381bb991(Ins_381bb991) 发表:谢谢指教了，我看看具体啥情况

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