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【求助】请问 XPS imaging 和SEM EDS x-ray mapping 有什么区别？

caohuiliang1980

2007/04/26

XPS及其它能谱仪

请问 XPS imaging 和SEM EDS x-ray mapping 有什么区别？，
在空间分布率上是不是XPS imaging要差点阿？

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zhuyongfa

第1楼2007/04/29

1. XPS是表面元素分布,2-5nm厚度,EDS是体相元素分布,可以是500-1000nm厚度;
2. XPS可以给出元素的价态分布,EDS只能是元素含量
caohuiliang1980 发表:请问 XPS imaging 和SEM EDS x-ray mapping 有什么区别？，
在空间分布率上是不是XPS imaging要差点阿？

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caohuiliang1980

第2楼2007/04/30

谢谢指教。
zhuyongfa 发表:1. XPS是表面元素分布,2-5nm厚度,EDS是体相元素分布,可以是500-1000nm厚度;
2. XPS可以给出元素的价态分布,EDS只能是元素含量

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