其他仪器综合讨论
扫描电镜(SEM)详细参数
分辨率
3.0nm@1KV(SE)
2.5nm@30KV(BSE)
放大倍率
6倍-1000000倍
电子枪
肖特基场发射电子枪
加速电压
0~30kV
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