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氦质谱检漏仪的工作原理

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2024/10/24

综合仪器讨论

氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体，借助质谱仪对氦气的高度敏感性来检测真空系统或部件的泄漏。工作时，氦气被喷射在待测物体的外表面，如果有泄漏，氦气会通过泄漏点进入真空腔内，质谱仪通过离子化、质量分析等过程快速识别出特定质量数为4的氦离子，并转换为电信号输出，从而精确定位和定量分析泄漏率。这种检测方法因其高效、准确而在工业检测中广泛应用。

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