这也是问题所在,时间长了,视场多了不进行人工校准的话是要走偏的,尤其是第一张照片和同一列或同一行的最后一张照片在位置上相差是很多的。
chenjianfeng 发表:这个问题我倒也碰到过,其实里面的关键我经过仔细考虑觉得并不在于是否场发射或者场地,自动聚焦等功能的问题,而是样品台的精度问题。
现在的SEM,钨灯丝的有点问题,因为这里需要灯丝的寿命比较长,分辨率不是问题,因为10nm的要求比较宽松了,自动功能也不是问题,一般的SEM都有这功能,但是,几万张甚至几百万张的图片视野是相当大的,需要多次移动样品台,在这种情况下,需要使用电子束偏移和图像对比自动识别边界来进行校正才能把图片的拼接精确度提上来,并不是目前各个厂商所提供的成型软件所能解决的问题了。