【求助】请问作静电力EFM用什么针尖？

我用的是Seiko的SPM, 要用导电探针。如果是做KFM,最好用单一金属涂层的，这样就不需要校准探针的功函。
Seiko的是双通道同时模式，DI的是lift模式，但原理是一样的。

谢谢回复，我要做的是EFM，不知道用哪种针尖，好像有的针尖是Au Reflective Coating的，不知道行不行？

怎么会这么麻烦呢，不过还好，终于摸索出一些东西出来

Au Reflective Coating是指悬臂的反射激光面涂有Au（Cantilever Coating），当然也有镀Al的，但单是这样描述的这种针尖并不能说明可用于EFM。用于EFM的针尖必须要有针尖的涂层（Tip Coating），在针尖的说明书上一般都会注明，常用的涂层有Au、Pt、TiN、W2C等，都是用于EFM的针尖。
用于MFM的针尖，一般都具有FeNi/Cr、Co/Cr、SmCo/Cr的涂层。

正解，有金属涂层的不一定表示tip有金属。

MESP可以

对，工程师告诉我用MESP就可以的！谢谢各位啦！有什么问题一定再向大家请教！