扫描电镜(SEM/EDS)
bossvip
第1楼2007/08/13
根据样品的绝缘性以及湿度
第2楼2007/08/13
给些具体值以供参考:聚合物在VP模式下12KV/43Pa(BSE图象);半导体材料10KV/20Pa(BSE图象)。这只是我看到的一些资料上的特定材质的选用电压/压力关系。具体的还是需要自己根据特定材料调节。
miumiu
第3楼2007/08/17
一般靠点经验,但是,真空度越低,分辨率就会下降
jeolzxj
第4楼2007/08/23
一般靠点经验,但是,真空度越低,分辨率就会下降[/quote]这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.
annelugel
第5楼2007/09/18
这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.[/quote]真空度和分辨率还是有关系的,不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍,在五六百帕拍10万倍的图片,也很困难。
第6楼2007/09/18
真空度和分辨率还是有关系的,不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍,在五六百帕拍10万倍的图片,也很困难。[/quote]一般样品钨灯丝的10万倍当然困难,用标样就会好很多.场发射的低真空又会有很大的提高,十万倍也很轻松.
jzhx68
第7楼2007/09/21
真空度和分辨率还是有关系的,不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍,在五六百帕拍10万倍的图片,也很困难。[/quote]五六百帕的真空度下可以拍到十万倍,我最高拍到十五万倍。
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