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【求助】求助XPS元素定量分析问题

XPS及其它能谱仪

  • 各位大虾， 请问XPS元素定量分析准吗？我做的主要是O和Si（〉10%），其中掺杂有少量的P（《1%）, 原来一直是由XPS来定量分析成分的。但是我现在怀疑其测量含量O/Si的准确性。请教各位有什么看法。
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    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第1楼2007/08/20

    你做的什么？
    薄膜的话可能性大
    粉末的话要困难一点

0
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  • klvn

    第2楼2007/08/21

    XPS分析深度只有几个纳米，半定量分析误差比较大，空气中氧也很容易吸附在样品表面，建议你测试时用氩离子枪做一下表面清洁

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  • yulafeng

    第3楼2007/08/24

    定量分析的误差在10%以内。曾经在仪器更换部件后做过标准样品的测试，NaCl ，KI的原子个数比都为1.00。所以我同意楼上的意见，可以先不刻蚀先测一下，然后刻蚀后再测量，看氧的含量是否减少。

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