GENTEC捷锐-U53SL系列超高纯减压器/减压阀/调压阀

GENTEC捷锐-U53SL系列超高纯减压器/减压阀/调压阀

品牌捷锐

货号 U53 价格 面议

核心参数

规格
1

产品介绍

U53SL 系列减压器适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。


结构特点 Features

  • 膜片式硬密封，泄漏率低

  • 可采用面板安装和后座安装

  • 压力表标准连接： 1/4" FSR(M)

    可选：1/4" FSR (F)

  • 内部电解抛光

  • 高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业

  • 使用寿命长

  • 通过氦气测试


材质 Materials

  • 母体：316L，Hastelloy®

  • 阀座：PCTFE

  • 膜片：Elgiloy®，Hastelloy®

  • 上盖：316，Hastelloy®


功能特性 Functional Performance

  • 流量：Cv=0.054

  • 母体泄漏率：2x10-9 atm cc/sec He

  • 阀座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He

  • 设计验证压力：最大额定压力的 150%

  • 设计爆破压力：最大额定压力的 400%


工作条件 Operating Conditions

  • 最大的入口压力：300 psi (20 bar)

  • 出口压力：0- 30 psi (2 bar)

  • 温度： -18℃~60℃(0℉~140℉)

流道表面 Surface Finish

  • 标准：Ra 20μin

  • 可选：Ra 10μin


内部容积 Internal Volume

  • 9.3 cc


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