GENTEC捷锐-U23SL系列高纯减压器/减压阀/调压阀

结 构 特 点 Features

• 316L 不锈钢母体

• 膜片式硬密封，泄漏率低

• 可采用面板安装和后座安装

• 压力表标准连接： 1/4” FSR(M)           可选：1/4” FSR (F)

• 内部电解抛光

• 高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业

• 使用寿命长

• 经过氦气测试

材 质 Materials

• 母体：316L

• 阀座：PCTFE, Vespel®

• 膜片：316L

• 上盖：316

功 能 特 性 Functional Performance

• 流量：Cv=1.8

• 母体泄漏率：2x10^-9 atm cc/sec He

• 阀座泄漏率：4x10^-8 atm cc/sec He

• 设计验证压力：最大额定压力的 150%

• 设计爆破压力：最大额定压力的 400%

工 作 条 件 Operating Conditions

• 最大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)

• 出口压力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),

                   0-100 psi (7 bar), 0-150 psi (10 bar)

• 温度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)

流 道 表 面 Surface Finish

• 标准：Ra 20μin

• 可选：Ra 10μin

内 部 容 积 Internal Volume

• 59.9 cc