产品介绍
特点:
• 用于耐刻蚀工艺、电镀、LIGA、MEMS等
• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)
g-line(436nm)、 e-beam、X-ray、synchrotron
• 涂胶厚度从几微米到上百微米不等
• 覆盖能力强,分辨率高,图形边缘结构陡直
• 化学放大胶,具有非常高的灵敏度
• 可得到undercut结构,用于lift-off工艺
• 可替代SU8胶
旋涂曲线:
应用实例:
欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514
供应商
铜牌会员 第24年