电子束光刻胶 AR-P 6200（CSAR 62）

特点：

• 用于高分辨率电子束曝光等

• 感光波段：e-beam

• 高分辨率(< 10 nm)， 高对比度(14)

• 高深宽比，高工艺稳定性

• 优异的耐干法刻蚀能力

• 采用不同的显影液(AR 600-546/ 548/ 549)，可实现 

不同程度的灵敏度

• 可实现Lift-off工艺，操作简单

• 溶剂为苯甲醚(安全溶剂)

旋涂曲线：

应用实例：

欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514