离子源 ECL800

EC/L800线性宽波束离子源

线性ECR宽波束离子源

图1  EC/L800线性宽波束离子源

产品介绍

 ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。多个单ECR离子源结合到一起，组成线性ECR宽波束离子源。

1. EC/L800线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)，拥有长达2米的工作模块，均匀离子流超过总长度的80**。

2. EC/L800线性宽波束离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，方便实现**佳工艺适应。

• 技术规范

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图2  EC/L800线性宽波束离子源尺寸布局

图3  EC/L800线性宽波束离子源离子束轮廓