核心参数
规格 | ECR125 |
产品介绍
图1 EC/A125
产品介绍
ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。在离子源内,等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时,电子会发生共振吸收,此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级),获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子,而电离出的电子很快也会发生回旋共振,撞击原子产生更多的电子,从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加,而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加,这使得等离子体的浓度得到很大提高。
1. EC125可调离子源用于外部法兰安装,使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,在交变电场与永磁体的静磁场的作用下,等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)。
2. EC125可调离子源使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长(超过300小时),所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料,并拥有全方向节点机械调整系统(每个方向10 grd),方便实现**佳工艺适应。
技术规范
图2 带有PBN的 EC/A125
表1
参数 | EC/A125 | EC/F125 |
类型 | 法兰安装可调射频ECR离子源 多孔径提取栅网 | 法兰安装射频ECR离子源 多孔径提取栅网 |
源材料 | 放电管:Al2O3 栅网:C或Mo 微波天线的真空分离:二氧化硅杯 永磁体:NdFeB 外壳:不锈钢 磁屏蔽:镀镍钢 | |
栅网类型 | 2栅网或3栅网系统 2种不同焦距的标准系统 | |
型号 | 插入深度:280 mm(无PBN) 直径:220 mm(无PBN) | 插入深度:135 mm(不带PBN) 直径:220 mm(无PBN) |
重量 | 14.5kg | 11.5kg |
法兰 | DN 250 | DN200 |
微波电源 | ~125 to 400 W at 2.45 GHz | |
离子电流 | **大180 mA(取决于电网类型和运行条件) | |
离子能量 | 100 到 2000 eV | |
加速电压 | 0 –1000 V | |
过程气体 | 惰性气体,N2(无限制) O2和含卤素气体(栅极寿命缩短) | |
气流流量 | 5-20sccm 接头:1/8“Swagelock(空气和真空) | |
冷却水 | 1.5 l/min | |
接头 | 6 mm Swagelock |
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