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锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
提供一种功率MOSFET,包含第一导电类型的衬底。也是第一导电类型的外延层淀积在衬底上。第一体区和第二体区位于外延层中,在其间限定漂移区。体区具有第二导电类型。第一导电类型的第一源区和第二源区分别位于第一体区和第二体区中。在外延层的漂移区中位于体区下面的多个沟槽。沟槽从第一体区和第二体区向衬底延伸,用包含第二导电类型的掺杂剂的材料填充沟槽。掺杂剂从沟槽扩散到与沟槽相邻的外延层的部分中。
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