您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种改进的新型半导体器件(10),包括无定形碳层(14),用于提高光刻胶的附着;以及制造方法。该器件包括具有表面(13)的衬底(12)、形成在衬底表面上的碳层(14),以及形成在碳层表面上的抗蚀剂层(16)。器件如下形成:提供具有表面的衬底,利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)或溅射在衬底表面上沉积碳层,以及在碳层表面上形成抗蚀剂层。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。