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锤子
扩展光刻模拟积分范围的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 9:30:36
- 文件大小：1533K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种计算掩模多边形远程成像贡献的方法。引入了一种算法，应用于光刻工艺中的光学邻近校正。一个多边形中每个扇区的一个有限积分取代了无限积分。不是在全扇区上积分，而是在两个三角形上积分，实现了有限积分。对一种幂定律内核提出了一种解析方法，把扇区的数值积分简化为解析表达式求值。通过截断掩模而不是截断内核函数，把掩模多边形划分为若干区域以计算相互作用效应，比如中程和远程效应。
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