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锤子
半导体器件的制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 17:04:09
- 文件大小：1720K
- 下载次数：0
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简介：
提供了一种采用纳米压印方法制造半导体器件的方法，该半导体器件的成本可以降低。在本发明中，在半导体薄膜上依次形成栅绝缘膜、导电膜、和抗蚀剂，并在将形成了图形的模子压到抗蚀剂上的同时硬化抗蚀剂。因此，图形转移到抗蚀剂上，灰化被转移图形的抗蚀剂的表面，直到暴露导电膜的一部分，使用具有灰化的表面的抗蚀剂为掩模，并刻蚀导电膜。
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