消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
公开了一种光刻装置,其具有与基底台隔开地形成的盖板和通过控制该盖板的温度来稳定基底台的温度的装置。公开了一种光刻装置,其具有布置在盖板和基底台之间的热绝缘体,使得该盖板用作基底台的热屏蔽。公开了一种光刻装置,其包括确定基底台的变形并参考该基底台的变形来改善对基底位置控制的装置。
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锤子