方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
二维材料界面的电子结构很大程度上决定了器件的性能,通过XPS与UPS可以对二维材料的价带谱进行研究,本文研究了两者的区别,并分析了导致差异的原因。
本文通过He II光源与Al Kα X光源对MoS2样品价带谱进行了分析。结果表明,在存在表面污染时,UPS结果与XPS结果存在较大区别,主要原因在于UPS更加具有表面敏感性。通过团簇离子枪对样品表面清洁后,两者结果区别减小,主要差异来源于电离截面导致的峰高差异。
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